華為公布光刻機專利后，中芯公布擴產計劃，荷蘭：ASML會持續供貨

或許很多朋友不是很了解，雖然現在的光刻機巨頭是荷蘭的ASML，日本的尼康和佳能也占有部分市場份額，但是最初的光刻機市場，主要是被美國企業所占有，但隨著光刻機市場競爭的加劇，美國光刻機企業紛紛走向倒閉和被收購的境地，最終形成了ASML、尼康和佳能三足鼎立的局面。

不過ASML憑借著雙工件台、浸潤系統和EUV技術，最終走向了光刻機巨頭霸主的地位，也就是說，ASML深知，自己曾經也是一個名不見經傳的光刻機小廠，而曾經的光刻機美企巨頭也會隕落，因此，即便是光刻機市場，也難以有永遠的勝者。

而除了技術，更重要的還有市場，當初ASML為了得到台積電的訂單，不惜出錢出力幫助張忠謀，親手指導台積電如何管理晶圓廠；為了得到三星的訂單，ASML方面忍氣吞聲，甚至感覺到自己不被尊重，誰能想到現在風光無限的ASML，曾經也有過這樣不堪的過往。

因此我們也就可以理解，在老美要求ASML除了禁止向我們出售EUV光刻機，還要禁止出售DUV光刻機后，ASML方面會表示出拒絕，就在今年年初的時候，ASML方面已經表示，物理定律在荷蘭與在中國是一樣的，中國不是沒可能制造出頂級光刻機。

這是ASML方面首次從技術上承認了中企的實力，巧合的是，就是在今年的第一季度，ASML對中企的交貨量大幅提升，來自中企的訂單占據了ASML營收的34%，比2021年第四季度提升了約50%。

此外，近日華為方面突然公開了一項EUV光刻機專利，當然，這對于我們國產EUV光刻機來說是一個好消息，但其實，我們在EUV光刻機上已經有了數量可觀的專利積累，華為并非是首例。

如果大家感興趣，可以在國家知識產權局官網查詢相關EUV專利，你會發現，我們中企、研究機構、大學等擁有EUV專利的主體眾多，專利持有量同樣如此，如果還有興趣，那麼可以查詢下中科院上海光機所，你會看到對于EUV光刻機，已經早已進行非常細分的職位招聘，而就在近日，還對EUV光源方面進行了招聘。

在今年的早些時候，國望光學方面開始對潔凈室進行招標，而國望光學是我國負責光刻機光學曝光系統的主力，大家請看下圖。

這意味著，我們國產28納米光刻機已經可以期待了，而通過ASML的發展歷史推算，從28納米到10納米光刻機，大概只需要5年左右的時間，因為28納米是一個關鍵節點，這個節點就解決了DUV光刻機在光源、物鏡、浸潤系統等方面的核心問題，所以突破28納米，后續的升級工作就會容易的多。

我們相信，所有這些事情都發生在今年第一季度，這或許并非只是一個巧合，但已經讓我們看出，在技術上，ASML已經感到了壓力，再來說市場方面。中芯國際近日又宣布了一項總計34萬片12英寸晶圓的擴產計劃，毫無疑問，所需要用到的光刻機自然是DUV光刻機。

而在DUV光刻機上，以ASML在2021年的財報來看，其光刻機營收共計是136億歐元，其中EUV光刻機貢獻了53億歐元，DUV光刻機貢獻了63億歐元，服務收入則是50億歐元。

也就是說，DUV光刻機才是ASML的營收主力，排在三大營收的第一位，其中DUV光刻機的銷量約是EUV光刻機的5倍，更多的銷量意味需要更多的售后服務人員，所以DUV光刻機同時也為服務收入的增加提供了保障。

因此我們結合全文來看，ASML是難以割舍DUV光刻機市場，尤其是中國市場，因為現在只有中國市場在大量購買DUV光刻機，更重要的是，中企在DUV光刻機上可能時刻會出現質的突破，如果ASML主動放棄這個市場，后果只能說不堪設想。

上文中我們已經提到，ASML深知得到市場的不易，也深知失去市場后可能會面臨的后果，總之我們看到，荷蘭方面隨后再次重申，將會捍衛自己的利益，拒絕聽從美國方面提出的請求，荷蘭外貿與發展合作大臣表示，荷蘭將就ASML向中企銷售光刻機的事宜做出自己的決定。

因此一切都已經清晰了，實際上，近幾年來，ASML積極參加我國舉辦的進博會，就已經代表了一切，這說明，我們國產光刻機已經成為了ASML潛在的競爭者，ASML已經需要站出來展示自己的實力了，倪光南院士就強調過，要掌握核心科技，因為核心科技是買不來、求不來的，現在來看，確實如此。